| 氮离子注入法合成CNx膜的化学键表征 |
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| 引用本文： | 曹培江 朱德亮 马晓翠,潘跃武.氮离子注入法合成CNx膜的化学键表征[J].真空科学与技术学报,2005,25(5):328-330. |
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| 作者姓名： | 曹培江 朱德亮 马晓翠 潘跃武 |
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| 作者单位： | 曹培江（深圳大学理学院,深圳市特种功能材料重点实验室,深圳,518060）;朱德亮（深圳大学理学院,深圳市特种功能材料重点实验室,深圳,518060）;马晓翠（深圳大学理学院,深圳市特种功能材料重点实验室,深圳,518060）;潘跃武（哈尔滨工业大学深圳研究生院,材料科学与工程学科部,深圳,518055） |
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| 基金项目： | 广东省自然科学基金项目(No.04300875) |
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| 摘 要： | 采用N离子注入金刚石膜和热解石墨方法合成了CNx膜,用Raman光谱和XPS谱对合成薄膜中C、N的化学键合状态进行了研究.通过与Raman光谱的比较,我们对合成样品XPS谱中N1s的化学键合状态作出如下归属≈400.0
eV属于sp2 C-N键;≈398.5 eV则属于sp3 C-N键.结果显示碳原子、氮原子间的化学键合状态,明显地依赖于衬底材料及注入N离子的能量.
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| 关 键 词： | N离子注入 金刚石 化学键 |
| 文章编号： | 1672-7126(2005)05-0328-03 |
| 修稿时间： | 2005年3月31日 |
Chemical Bond
Characterization of CNx Films Synthesized by Nitrogen Ion Implantation |
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| Cao Peijiang.Chemical Bond
Characterization of CNx Films Synthesized by Nitrogen Ion Implantation[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2005,25(5):328-330. |
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| Authors: | Cao Peijiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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