|
|||||
|
|
| “纳米精度激光激振测振仪”研制成功 | |
| 摘 要： | 同家"863"计划项目"纳米精度激光激振测振仪"日前在中科院上海光机所通过科技部高技术中心、863计划先进制造与自动化技术领域MEMS重大专项专家组的验收。中科院上海光机所信息光学实验室王向朝课题组经过一年多的努力,采用小光斑光致激振技术和正弦相位调制测振技术,研制成功一台纳米精度激光激振测振仪样机。经华东国家计量测试中心现场检测,该样机激振光斑直径小于10μm,振幅测量重复精度小于3nm,测振振幅 |
| 关 键 词： | 中科院上海光机所信息光学实验室 小光斑光致激振 正弦相位调制测振 纳米精度激光激振测振仪 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |