|
|||||
|
|
| 全金属超高真空气动闸板阀的研制 | |
| 引用本文： | 沈阳真空技术研究所超高真空阀门组.全金属超高真空气动闸板阀的研制[J].真空,1980(3). |
| 作者姓名： | 沈阳真空技术研究所超高真空阀门组 |
| 摘 要： | 一、概述 近年来,随着科学技术的发展,真空阀门的应用范围日趋广泛,尤其是国防、冶金、电子等工业发展的需要,其发展趋势已向超高真空阀门发展。由于超高真空系统特性的要求和应用条件的需要,全金属超高真空闸板阀已被重视和较多的应用。我所已研制成功直径为 150毫米和 200毫米两种超高真空全金属铟密封的气动闸板阀。 这种阀是由阀体、密封阀盖、摆动气缸三部组成(如图1所示)。阀的材料采用1Cr18Ni 9 Ti制成,可防腐蚀,阀口密封铟垫圈采用水冷却方法,可使阀烘烤至300,经过试验证明这种阀具有结构简单,占空间位置小(尤其是采用摆动形式,结… |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |