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| Nd^3＋：YAG连续激光束用于半导体连续激光退火的研究 | |
| 作者姓名： | 石万全 姚德成 刘世祥 朱美芳 贺令渝 陆世勇 刘万忠 王金生 |
| 作者单位： | [1]中国科学技术大学研究生院 [2]北京706厂 |
| 摘 要： | 本文主要介绍如何根据连续激光退火的需要，将Nd^3＋：YAG激光划片机改进和完善成专用连续激光退火设备。简单介绍利用此设备进行激光退火的实验结果。提出研制和生产专用连续激光退火设备的必要性。 |
| 关 键 词： | Nd^3＋：YAG 激光退火 半导体 激光束 G连续 退火设备 连续激光 激光划片机 专用 |
| 修稿时间： | 1983-10-17 |
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