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封离型全金属RF激励CO2激光器的热设计
引用本文:汪辉,王新兵,何云贵.封离型全金属RF激励CO2激光器的热设计[J].激光技术,2005,29(1):21-23.
作者姓名:汪辉  王新兵  何云贵
作者单位:1.华中科技大学, 激光加工国家工程研究中心, 武汉, 430074
摘    要:全金属RF激励CO2激光器中,气体放电区的温度分布与放电区的工作气体、注入功率和激光器外壳温度都有关系.腔体厚度以及腔体和金属电极之间的绝缘气体层厚度的变化,对放电区的温度分布也会产生一定的影响.通过解析的方法,计算各种因素对温度分布的影响,为合理设计激光器的结构参数和选择适当比例的激光工作气体提供了有利的参考.

关 键 词:热传导    全金属结构    扩散冷却    射频放电    CO2激光器
文章编号:1001-3806(2005)01-0021-03
收稿时间:2004/1/14
修稿时间:2004年1月14日

Heat design of sealed-off all metal RF excited CO2 lasers
WANG Hui,WANG Xin-bing,HE Yun-gui.Heat design of sealed-off all metal RF excited CO2 lasers[J].Laser Technology,2005,29(1):21-23.
Authors:WANG Hui  WANG Xin-bing  HE Yun-gui
Abstract:In the all-metal radio frequency excited CO 2 laser,the temperature distribution in the discharge region varies with the gas mixture,input power and the background temperature.Besides the above factors,the thickness of the metal crust and the insulated gas width between the crust and metal electrode will also affect the temperature distribution to some extent.The temperature distribution in the discharge region is analyzed,which provides a good reference of designing the laser structure and selecting the gas mixture.
Keywords:heat conduct  all-metal structure  diffusion-cooled  RF discharge  CO  2 laser
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