32×32甚长波红外HgCdTe焦平面器件

甚长波红外波段富含大气湿度、CO2含量及云层结构和温度轮廓等大量信息，是大气遥感的重要组成部分。设计了一种3232甚长波红外焦平面阵列，采用在ZnCdTe衬底上液相外延生长的As掺杂p型材料上进行B+离子注入形成光敏元，通过铟柱倒焊技术和带有改进型背景抑制结构的读出电路互联，制成截止波长达到14 m的焦平面器件。该红外焦平面器件像元面积为60 m60 m，工作温度在50 K温度下。测试结果显示:读出电路性能良好，焦平面黑体响应率达到1。35107V/W，峰值探测率为2。571010 cmHz1/2/W，响应率非均匀性约为45%，盲元率小于12%。