640×512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制

介绍了大面阵偏振长波量子阱红外焦平面探测器组件的研制进展。在640512规模20 m中心距面阵上，偏振焦平面采用了22子单元设计，子单元中每个像元分别刻蚀0、90、45以及135方向的一维线性光栅，来获得入射光不同偏振角度的信息。突破了长波量子阱材料外延和器件制备等关键技术，制备出面阵探测器芯片，实现了偏振长波红外探测的单片集成，配上杜瓦和制冷机，研制出噪声等效温差优于30 mK的长波偏振640512量子阱探测器组件。