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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
640×512偏振长波量子阱红外焦平面探测器研制
作者姓名:
周旭昌
李东升
木迎春
铁筱滢
王晓娟
陈卫业
作者单位:
1.昆明物理研究所,云南 昆明 650223
摘 要:
介绍了大面阵偏振长波量子阱红外焦平面探测器组件的研制进展。在640512规模20 m中心距面阵上,偏振焦平面采用了22子单元设计,子单元中每个像元分别刻蚀0、90、45以及135方向的一维线性光栅,来获得入射光不同偏振角度的信息。突破了长波量子阱材料外延和器件制备等关键技术,制备出面阵探测器芯片,实现了偏振长波红外探测的单片集成,配上杜瓦和制冷机,研制出噪声等效温差优于30 mK的长波偏振640512量子阱探测器组件。
关 键 词:
偏振长波红外探测
大面阵量子阱焦平面组件
单片集成
收稿时间:
2016-05-11
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