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压电陶瓷超声波电机
作者姓名:内野研二  王大春
摘    要:一、前言 FA(工厂自动化)、机器人和精密定位等自动化系统的发展,除了由于计算机、传感器和信息传输手段的开发之外,还与致动器性能的提高有很大关系。 产业用的致动器一般是使用电磁式电机和油压空压致动器。1962年最早开发的产业机器人用致动器是一种电气油压伺服方式。但在油压伺服系统中不仅要有很多昂贵的油压动力装置用作油压源,而且会因漏油而造成污染。加之,自1973年发生石油冲击之后,产业界出现了采用不用油的伺服系统的倾向,伺服电动机已成为机器人致动器的主

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