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| 大圆片样品方块电阻测试及径向等高线图的绘制 | |
| 引用本文： | 王万年.大圆片样品方块电阻测试及径向等高线图的绘制[J].半导体技术,1989(2):28-30. |
| 作者姓名： | 王万年 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 摘 要： | 本文用微机控制四探针测试系统,按着分区等差方法计算的连续点,描绘出半导体大圆片样品方块电阻的径向等高线图. |
| 关 键 词： | 大圆片 方块电阻 等高线图 半导体 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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