精密可控微位移器试验研究

本文利用压电陶瓷逆电压电效应研制成功了精密可控微位移器，在静动态试验下效果良好，其线性度，稳定性，回零性和滞后量均达到理想程度，可用于机床误差补偿和热变形补偿系统中。