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氧压对PLD法硅上生长c轴取向LiNbO3晶体薄膜的影响
摘 要：
关 键 词：
PLD法 硅衬底 LiNb03晶体薄膜 c轴取向 薄膜生长 脉冲激光沉积 氧压 铌酸锂薄膜 半导体
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