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压接型IGBT器件升温曲线测量方法
引用本文:钟岩,张一鸣,邓二平,谢露红,黄永章.压接型IGBT器件升温曲线测量方法[J].半导体技术,2022(12):1014-1026.
作者姓名:钟岩  张一鸣  邓二平  谢露红  黄永章
作者单位:1. 新能源电力系统国家重点实验室(华北电力大学);2. 合肥工业大学电气与自动化工程学院
基金项目:国家自然科学基金青年基金资助项目(52007061);
摘    要:利用热网络模型和有限元仿真分析了压接型IGBT器件升降温曲线不具有等效性的原因,研究了压接型IGBT器件升温曲线的测量方法,对比了大电流通态压降(VCE)法和大电流阈值电压(VGE,th)法的测量原理,对压接型器件的适用性和测量准确度等。仿真结果表明,接触热阻在升温和降温阶段受压力的影响出现了不同的变化趋势,导致了升降温曲线的非等效性。实验结果表明,大电流VGE,th法有效降低了压力对测量带来的影响,测量更为准确,测量误差基本在1 K以内,低于大电流VCE法,为压接型IGBT器件进一步的多物理场耦合研究和老化监测提供了参考。此外,实验结果还表明压接型IGBT器件在升降温过程中,压力变化越大,升降温曲线的差异越明显。

关 键 词:压接型IGBT器件  升降温等效性  升温曲线测量  大电流通态压降(VCE)法  大电流阈值电压(VGE  th)法
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