一种基于斯坦福RRAM模型的参数提取方法

阻变随机存取存储器(RRAM)是一种新型非易失性存储器件，比主流的闪存(Flash)器件具有更快的读/写速度、更低的编程电压和功耗。然而由于工艺不成熟等因素，RRAM准确的器件模型需要在已有的斯坦福物理模型基础上，对多达6个曲线拟合参数反复进行调整，具有一定的建模难度。提出了一种简并参数的建模方法，通过器件实测数据计算出其中4个曲线拟合参数I₀、g₀、γ₀、β。该方法大大降低了将物理模型适配为实际模型的建模难度，且由于基于实测数据，该建模方法理论上对不同工艺具有适配性。最后在不同工艺条件下制作了基于HfO_x材料的RRAM器件，并验证了该方法的有效性、先进性和准确性。