激光雷达用大功率小发散角脉冲激光器 |
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引用本文: | 李亮,李扬,彭海涛,王彦照,王爽,付越东,张玉明.激光雷达用大功率小发散角脉冲激光器[J].半导体技术,2022(8):621-624+664. |
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作者姓名: | 李亮 李扬 彭海涛 王彦照 王爽 付越东 张玉明 |
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作者单位: | 1. 中国电子科技集团公司第十三研究所;2. 西安电子科技大学微电子学院 |
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摘 要: | 研发了小发散角的900 nm波长四叠层隧道结大功率脉冲激光器芯片,设计了大出光面的四叠层材料结构。对比常规的三叠层隧道结激光器,该结构在垂直方向发散角减小的同时,斜率效率和功率均有大幅提升。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)方法实现外延材料的生长,通过半导体激光器制作工艺制成条宽为220μm、腔长为800μm的脉冲激光器芯片,再封装成器件并对其进行测试。测试结果表明,在25℃下,脉冲宽度为100 ns、重复频率为10 kHz、电流为50 A时,激光器输出功率可达150 W,此时远场的垂直发散角为22°。
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关 键 词: | 四叠层 隧道结 大功率 小发散角 激光雷达 |
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