| 一种能满足MEMS微梁固支边界条件的锚 |
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| 引用本文： | 戎华,黄庆安,聂萌,李伟华. 一种能满足MEMS微梁固支边界条件的锚[J]. 半导体学报, 2004, 25(6): 707-710 |
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| 作者姓名： | 戎华 黄庆安 聂萌 李伟华 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室 南京210096(戎华，黄庆安)，合肥工业大学理学院 合肥230009(聂萌)，东南大学MEMS教育部重点实验室 南京210096(李伟华) |
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| 摘 要： | 在MEMS领域,微梁广泛应用于各种器件及材料参数的提取中,但是由表面微加工工艺制成的单层台阶型锚,往往不能使微梁满足理想固支的边界条件,从而给器件设计和材料参数的提取带来较大的误差.为了解决这一问题,文中提出了一种结构新颖的锚,经Coventorwear软件模拟表明,该锚能提供接近理想固支的边界条件.
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| 关 键 词： | 表面微加工 固支边界条件 锚 版图 MEMS 微梁 固支边界条件 Boundary Conditions Perfect Microbeam Anchor 软件模拟 结构新 问题 误差 器件设计 台阶型 表面微加工工艺 提取 材料参数 应用 |
| 文章编号： | 0253-4177(2004)06-0707-04 |
| 修稿时间： | 2003-07-28 |
A Novel Anchor for Microbeam with Perfect Fixed-End Boundary Conditions |
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| Rong Hua ,Huang Qing'an ,Nie Meng and Li Weihua. A Novel Anchor for Microbeam with Perfect Fixed-End Boundary Conditions[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2004, 25(6): 707-710 |
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| Authors: | Rong Hua Huang Qing'an Nie Meng Li Weihua |
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| Affiliation: | Rong Hua 1,Huang Qing'an 1,Nie Meng 2 and Li Weihua 1 |
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| Abstract: | In MEMS community,micro-beams are often used to extract material properties or build various devices,but the typical step-up anchors obtained from surface-micromachined process are not often well-defined fixed-ends.In order to get perfect fixed-ends,a novel anchor is presented which can be manufactured only by modifying layout,and no modification in the fabrication process is necessary. |
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| Keywords: | surface micromachining fixed-end boundary condition anchor layout |
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