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| 半导体集成电路的柔性生产技术 | |
| 作者姓名： | 罗浩平 |
| 作者单位： | 华晶中央研究所 |
| 摘 要： | 半导体集成电路的柔性生产技术华晶中央研究所（无锡２１４０３５）罗浩平１概述随着微电子技术的迅速发展，半导体ＩＣ的器件容量每三年增加一倍，而位单价每三年减低一半。目前，１６兆位的动态随机存储器（ＤＲＡＭ）及０．５微米的工艺线已商用化。预计１９９６年６４... |
| 关 键 词： | 半导体 集成电路 柔性生产技术 |
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