| 提高蓝宝石高温强度和透过率的研究 |
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| 引用本文： | 李强,刘正堂,冯丽萍,宋文燕,张兴刚,闫锋. 提高蓝宝石高温强度和透过率的研究[J]. 材料科学与工艺, 2007, 15(1): 52-54 |
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| 作者姓名： | 李强 刘正堂 冯丽萍 宋文燕 张兴刚 闫锋 |
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| 作者单位： | 西北工业大学,材料学院,陕西,西安,710072;西北工业大学,材料学院,陕西,西安,710072;西北工业大学,材料学院,陕西,西安,710072;西北工业大学,材料学院,陕西,西安,710072;西北工业大学,材料学院,陕西,西安,710072;西北工业大学,材料学院,陕西,西安,710072 |
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| 摘 要： | 在蓝宝石(α-Al2O3)衬底上利用射频磁控反应溅射法制备出SiO2/Si3N4双层增透膜系,并对镀膜后的蓝宝石进行了高温强度测试及其透过率的研究.研究表明:镀膜后蓝宝石的高温强度和透过率均有明显提高;800℃时,镀膜蓝宝石的高温强度比未镀膜提高了41.0%;在3～5μm波段范围内,室温下镀膜后透过率比镀膜前提高8.0%;SiO2/Si3N4膜系具有较高的热稳定性,且与蓝宝石衬底附着良好.
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| 关 键 词： | 磁控溅射 SiO2/Si3N4 薄膜 蓝宝石 高温强度 透过率 |
| 文章编号： | 1005-0299(2007)01-0052-03 |
| 修稿时间： | 2005-09-26 |
Investigation of improving strength and transmission for sapphire |
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| LI Qiang,LIU Zheng-tang,FENG Li-ping,SONG Wen-yan,ZHANG Xing-gang,YAN Feng. Investigation of improving strength and transmission for sapphire[J]. Materials Science and Technology, 2007, 15(1): 52-54 |
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| Authors: | LI Qiang LIU Zheng-tang FENG Li-ping SONG Wen-yan ZHANG Xing-gang YAN Feng |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering SiO2/Si3N4 films Sapphire high temperature strength transmission |
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