中国集成电路高端装备自主化取得新突破

工业和信息化部近日，由北方微电子公司自主研发的12英寸28纳米等离子硅刻蚀机，已经全面通过中芯国际集成电路制造有限公司的生产线全流程工艺验证，并获得客户订单。这标志着中国集成电路高端装备自主化取得了新的突破，并缩短了与国际一流设备的差距。