| 不同烧结温度下ITO靶材的金相组织分析 |
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| 引用本文： | 张元松,樊繁,林光飞. 不同烧结温度下ITO靶材的金相组织分析[J]. 湖南有色金属, 2015, 31(3): 57-60 |
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| 作者姓名： | 张元松 樊繁 林光飞 |
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| 作者单位： | 柳州华锡铟锡材料有限公司,广西柳州,545006 |
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| 摘 要： | 分析了不同烧结温度下ITO靶材的金相组织。结果表明:当烧结温度为1 500℃,靶材金相组织呈现烧结中期典型烧结颈组织;当烧结温度为1 530℃时,靶材组织是烧结中期与烧结后期过渡阶段的组织,晶界还未稳定,致密性差;当烧结温度为1 560℃和1 590℃时,靶材的组织稳定,致密性高,但是1 590℃烧结靶材晶粒偏大,晶界稳定性稍差;当烧结温度为1 620℃和1 650℃时,组织的晶界开始熔解,而且晶粒变得圆滑,尤其是在1 650℃烧结后,组织中晶粒是游离的近球形。通过SEM分析,验证了金相组织分析正确性,而且快捷,简便。
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| 关 键 词： | ITO靶材 烧结温度 金相组织 |
Metallographic Microstructure Analysis of ITO Target under Different Sintering Temperature |
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| ZHANG Yuan-song,FAN Fan,LIN Guang-fei. Metallographic Microstructure Analysis of ITO Target under Different Sintering Temperature[J]. Hunan Nonferrous Metals, 2015, 31(3): 57-60 |
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| Authors: | ZHANG Yuan-song FAN Fan LIN Guang-fei |
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| Affiliation: | ZHANG Yuan-song;FAN Fan;LIN Guang-fei;Liuzhou China Tin Tin & Indium Material Co. ,Ltd.; |
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