| 双等离子体离子源的工作特性 |
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| 引用本文： | 邱春玲,曾小辉,龙涛,包泽民,王培智.双等离子体离子源的工作特性[J].吉林大学学报(工学版),2015,45(1). |
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| 作者姓名： | 邱春玲 曾小辉 龙涛 包泽民 王培智 |
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| 作者单位： | 1. 吉林大学仪器科学与电气工程学院,长春,130022
2. 中国地质科学院地质研究所,北京,100037 |
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| 摘 要： | 针对双等离子体离子源受气压、磁场强度和放电电流影响,产生的O-离子束亮度不稳定的问题,设计并搭建了一套用于测试离子束亮度的离子光学系统,以SHRIMP II上的双等离子体离子源为对象,通过实验和仿真模拟分别研究了气压、磁场强度和放电电流对O-离子束亮度的影响规律。结果表明:该离子源能够稳定地工作在放电电流大于50 m A,气压为110~170 m Torr(1Torr=133.322 Pa)的条件下;当气压为140 m Torr、放电电流为200 m A、磁场强度为0.25 T时,获得的O-离子束亮度能够达到52.4 A/(cm2·sr)。合理控制离子源工作参数,可以增大O-离子束亮度,提高二次离子质谱的横向分辨率和灵敏度。
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| 关 键 词： | 仪器仪表技术 二次离子质谱 双等离子体离子源 离子光学系统 离子束亮度 |
Operating characteristics of duoplasmatron ion source |
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| QIU Chun-ling,ZENG Xiao-hui,LONG Tao,BAO Ze-min,WANG Pei-zhi.Operating characteristics of duoplasmatron ion source[J].Journal of Jilin University:Eng and Technol Ed,2015,45(1). |
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| Authors: | QIU Chun-ling ZENG Xiao-hui LONG Tao BAO Ze-min WANG Pei-zhi |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | technology of instrument and meter secondary ion mass spectrometry duoplasmatron ion source ion optics ionbeam brightness |
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