|
|||||
|
|
| PZT热释电红外探测器 | |
| 作者姓名： | 吴平 康琳 |
| 作者单位： | 南京航空学院(关平)，无锡微电子公司科研中心(康琳) |
| 摘 要： | 讨论了锆太酸铅(PZT)热释电材料的选择原则,介绍了Zr/Ti为94/6的PZT热释电陶瓷材料的制作,并以此材料为敏感元制作成PZT红外探测器。对其基本结构、制作时存在的问题进行了研究。所制作的探测器D(500K,10Hz) 为5.7×10~8cmhz~(?)/W不仅可用于一般的热辐射探测,还可用于强辐射(如激光)的测量。 |
| 关 键 词： | PZT 热释电 红外探测器 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |