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| 多元等离子体基离子注入混合及多层复合膜技术 | |
| 摘 要： | 技术开发单位哈尔滨工业大学技术简介多元等离子体基离子注入混合及多层复合膜技术是哈尔滨工业大学在新一代表面改性设备——DLZ-01型等离子体表面改性装置基础上开发出来的新型表面改性技术。该技术采用了多种利用等离子体方法进行表面改性的先进技术, |
| 关 键 词： | 离子注入混合 等离子体基 多层复合 膜技术 哈尔滨工业大学 等离子体表面改性 表面改性技术 表面改性设备 |
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