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杂志ISSN号
能在高温下测量的SOI型压力传感器
作者姓名:
长谷裕二
摘 要:
能在高温下测量的SOI型压力传感器长谷裕二等1.开发过程当前半导体压力传感器大多用于油压、气压等的压力测量,它的特点是灵敏度高、精度高以及应用半导体制造工艺能够大量地低成本地生产,因此广泛用于汽车发动机控制、空调及吸尘器等家用电器以及医疗设备等各个领...
关 键 词:
高温 测量 压力 传感器
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