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| 新的光声微电子学器件 | |
| 作者姓名： | 戎瑞 |
| 摘 要： | 根据光声微电子学会议(Symposiumon Optical and Acoustical Microelectro-nics)介绍,随着表面声波元件的发展,新的一类光和声集成电路元件和器件不断出现,概括起来有如下四个方面:1.声信号处理元件。它能在小的简单的结构中完成复杂的信号处理功能;2.光和声成像以及图像元处理器件;3.利用超声回波技术的新的光声存贮介质;4.激光器和探测器集成为单片结构。发展最快的器件是高频和超高频声电元件。所谓声微电子学就是把压电材料如铌酸锂的压电/声特性与半导体材料如硅结合起来。在这些器件中,由于声表面波与半导体 |
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