| Si(113)表面的原子结构 |
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| 引用本文： | 邢益荣,张敬平,吴汲安,刘赤子,王昌衡.Si(113)表面的原子结构[J].半导体学报,1991,12(2):65-67. |
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| 作者姓名： | 邢益荣 张敬平 吴汲安 刘赤子 王昌衡 |
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| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所表面物理实验室 北京100083
(邢益荣)，中国科学院半导体研究所 北京100083
(张敬平，吴汲安)，中国科学院表面物理实验室理研究所 北京100080
(刘赤子)，中国科学院表面物理实验室理研究所 北京100080(王昌衡) |
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| 摘 要： | 利用LEED研究了Si(113)表面的原子结构.清洁表面是采用离子轰击和退火方法制备的.实验发现:当温度高于600℃时表面为1×1结构,随着温度缓慢下降,表面原子结构发生1×1(?)3×1(?)3×2的可逆相变.
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| 关 键 词： | 硅 原子结构 LEED 离子轰击 退火 |
Study of Atomic Structure on Si(113) Surface |
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| Xing Yirong/Institute of Semiconductors and National Laboratory for Surface Physics,Academia SinicaZhang Jingping/Institute of Semiconductors,Academia SinicaWu Ji''''an/Institute of Semiconductors,Academia SinicaLiu Chizi/National Laboratory for Surface Physics and Institute of Physics,Academia SinicaWang Changhong/National Laboratory for Surface Physics and Institute of Physics,Academia Sinica.Study of Atomic Structure on Si(113) Surface[J].Chinese Journal of Semiconductors,1991,12(2):65-67. |
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| Authors: | Xing Yirong/Institute of Semiconductors and National Laboratory for Surface Physics Academia SinicaZhang Jingping/Institute of Semiconductors Academia SinicaWu Ji'an/Institute of Semiconductors Academia SinicaLiu Chizi/National Laboratory for Surface Physics and Institute of Physics Academia SinicaWang Changhong/National Laboratory for Surface Physics and Institute of Physics Academia Sinica |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Si(113) Surface Reconstructure Atomic Structure Phase Transition |
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