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| 产额谱仪的超高真空抽气 | |
| 引用本文： | 吴魁,刘宝祥,李志义,周增圻,瞿应东.产额谱仪的超高真空抽气[J].真空科学与技术学报,1986(Z1). |
| 作者姓名： | 吴魁 刘宝祥 李志义 周增圻 瞿应东 |
| 作者单位： | 中国科学院沈阳科仪厂 (吴魁，刘宝祥，李志义)，中国科学院半导体所 (周增圻)，中国科学院半导体所(瞿应东) |
| 摘 要： | 以光发射产额谱仪为主的综合谱仪真空系统由三个真空室组成,即分析室、样品制备室和进样室。对前两个室要求极限压强不大于2.7×10~(-8)Pa,对进样室则要求1.33×10~(-4)Pa。该仪器除要求清洁无油外,其分析室工作期间不许用离子泵,以免杂散离子干扰产额谱仪的测量,在非工作期间要求维持不劣于1.33×10~(-6)Pa的压强,以便工作时启动某些泵就能很快达到工作压强。 |
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