激光诱导制备纳米SiC粉体 |
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引用本文: | 线全刚,梁勇,杨柯,王淑兰. 激光诱导制备纳米SiC粉体[J]. 沈阳工业大学学报, 2003, 25(2): 170-172 |
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作者姓名: | 线全刚 梁勇 杨柯 王淑兰 |
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作者单位: | 中国科学院,金属研究所,辽宁,沈阳,110016 |
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摘 要: | 以硅烷Sih4和乙炔C2H2为反应原料,采用激光诱导化学气相沉积制备(LICVD)理想纳米SIC粉体.用化学分析、X射线衍射(XRD)、透射电子显微镜(TEM)及比表面积(BET)等分析测试手段对粉体进行了表征,结果表明粉体中SiC含量高于98%,平均粒径为20nm,晶体结构为β—SiC粉体产率大于200g/h,粉体中含氧量低于1%。
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关 键 词: | 制备 纳米碳化硅粉体 纳米SiC粉体 激光诱导化学气相沉积 |
文章编号: | 1000-1646(2003)02-0170-03 |
修稿时间: | 2002-11-18 |
Synthesis of nano SiC powder by laser induced gas phase reaction |
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Abstract: | |
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Keywords: | laser synthesis nanometer SiC |
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