柔性还原氧化石墨烯多功能传感器制备及性能研究

高灵敏和多功能的传感材料与器件是实现柔性传感器感受外部环境和监测人体生理特征信息的关键。采用简单的压印转移技术将还原氧化石墨烯(Reduced graphene oxide,RGO)转印至聚二甲基硅氧烷(PDMS)上,制备柔性RGO薄膜,再利用双层柔性RGO薄膜构建柔性力敏传感器。通过磁控溅射技术在柔性RGO薄膜表面沉积叉指电极,封装后得到柔性湿敏传感器,研究不同外压力及湿度条件下多功能柔性RGO薄膜的力敏和湿敏特性。研究结果表明:在负载状态下,RGO片层间距减小,片与片间的接触面积增加,从而增加了导电通路,引起传感器电阻减小。该柔性力敏传感器的响应时间为540ms,对30mg的药丸有明显的压阻响应,且能检测人体脉搏信号和喉部声带振动信号,表现出很高的灵敏度。此外,该柔性湿敏传感器对呼气等行为引起的微小湿度变化有明显感应,湿度增加时RGO表面吸附更多的水分子,从而引起电阻增大,多次检测信号变化稳定。