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| 微纳技术 | |
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| 摘 要： | 把握尖端 看世界更远微纳技术2 0 0 3 0 3 0 1 3 3纳米光子与纳米光集成器件 =ナノフオ トニクスとナノ光集积デバイス 日 ]/大津元一∥Ｏ ｐｌｕｓＥ .— 2 0 0 2 ,2 4 (1 ) .- 2 8～ 3 32 0 0 3 0 3 0 1 3 4高密度记录用微机械探针的研制 =高密度记录のためのマイクロマシン·プロ -ブの试作 日 ]/小野崇人 ,フアン·ミソゴ ...∥Ｏ ｐｌｕｓＥ .— 2 0 0 2 ,2 4 (1 ) .- 72～ 772 0 0 3 0 3 0 1 3 5微透镜综述 =マイクロレンズ总论 日 ]/伊贺健一∥ＯｐｌｕｓＥ .— 2 0 0 2 ,2 4 (7) .- 70 7～ 71 32 0 0 3 0 3 0 1 3 6用汽相蚀刻法… |
微纳技术 |
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| Abstract: | |
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