| 碱溶性光敏树脂在光致抗蚀剂中的应用 |
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| 引用本文： | 朱安峰,毛广秀. 碱溶性光敏树脂在光致抗蚀剂中的应用[J]. 涂料工业, 2007, 37(2): 26-28,32 |
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| 作者姓名： | 朱安峰 毛广秀 |
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| 作者单位： | 淮阴师范学院化学系,江苏淮安,223300 |
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| 摘 要： | 利用合成的碱溶性光敏树脂配制成光致抗蚀剂，对固化速率、碱溶性、涂膜表面干燥性、显影和脱膜等进行了研究。结果表明：树脂含量大于70％时，涂膜具有较好的表面干燥性、显影性和脱膜性能；光引发剂含量为5％左右，固化速率较高；50℃超声波下用3％Na2CO3显影2min，图象清晰度较高。
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| 关 键 词： | 碱溶性 UV固化材料 光致抗蚀剂 显影 光敏树脂 |
| 文章编号： | 0253-4312（2007）02-0026-04 |
| 修稿时间： | 2006-12-06 |
Application of Alkali Soluble Photosensitive Resin for Photoresist |
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| Zhu Anfeng,Mao Guangxiu. Application of Alkali Soluble Photosensitive Resin for Photoresist[J]. Paint & Coatings Industry, 2007, 37(2): 26-28,32 |
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| Authors: | Zhu Anfeng Mao Guangxiu |
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| Affiliation: | Dept of Chemistry, Huaiyin Teachers College, Huaian, Jiangsu 223300, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | alkali developable UV curing material photoresist film developing photosensitive resin |
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