| 扫描探针显微镜系统的各种组合方式 |
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| 引用本文： | 杨金涛,徐文东.扫描探针显微镜系统的各种组合方式[J].激光与光电子学进展,2005,42(6):44-47,55. |
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| 作者姓名： | 杨金涛 徐文东 |
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| 作者单位： | 中科院上海光学精密机械研究所光存储实验室,上海,201800;中科院上海光学精密机械研究所光存储实验室,上海,201800 |
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| 摘 要： | 综述了扫描探针显微镜(SPM)系统中显微镜主体部分的各种结构方式，分析其优缺点，对新型SPM的设计提供了参考。
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| 关 键 词： | 扫描探针显微镜 纳米显微镜 显微镜结构 |
| 收稿时间： | 2004/10/12 |
Various Configurations of Scanning Probe Microscopes (SPMs) |
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| YANG Jintao,XU Wendong.Various Configurations of Scanning Probe Microscopes (SPMs)[J].Laser & Optoelectronics Progress,2005,42(6):44-47,55. |
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| Authors: | YANG Jintao XU Wendong |
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| Abstract: | Various configurations of the principal part of scanning probe microscopes (SPM) are summarized, and their advantages and disadvantages are analyzed in detail for reference of designing and fabricating novel SPMs. |
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| Keywords: | SPM nano microscope configuration of microscope |
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