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| 双向横向热执行器结构设计 | |
| 引用本文： | 单建华,林丙涛,汪小华,孔德义,梅涛,褚家如.双向横向热执行器结构设计[J].微细加工技术,2007(5):61-64. |
| 作者姓名： | 单建华 林丙涛 汪小华 孔德义 梅涛 褚家如 |
| 作者单位： | 1. 中国科学技术大学,工程学院,合肥,230027;中国科学院合肥智能机械研究所,仿生感知与控制研究中心,合肥,230031 2. 中国科学院合肥智能机械研究所,仿生感知与控制研究中心,合肥,230031 3. 中国科学技术大学,工程学院,合肥,230027 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点基础研究发展计划(973计划) |
| 摘 要： | 在传统非对称冷热梁结构横向热执行器的基础上,提出了一种能实现双向横向运动的热执行器.采用对称结构设计,主要由折叠柔性梁、直柔性梁、宽梁和连接梁构成,通过选择加热臂,可以控制结构的偏转方向,实现双向推挽运动.在典型尺寸下,仿真结果显示,在20 mW驱动作用下,产生的末端位移9.55 μm,驱动力9.4μN,其性能与单向横向执行器相当.同时还进行了结构优化分析. |
| 关 键 词： | 横向热执行器 微机电系统 有限元 |
| 文章编号： | 1003-8213(2007)05-0061-04 |
| 修稿时间： | 2007年3月5日 |
Design of a Bi-directional Lateral Thermal Actuator |
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| SHAN Jian-hua,LIN Bing-tao,WANG Xiao-hua,KONG De-yi,MEI Tao,CHU Jia-ru.Design of a Bi-directional Lateral Thermal Actuator[J].Microfabrication Technology,2007(5):61-64. | |
| Authors: | SHAN Jian-hua LIN Bing-tao WANG Xiao-hua KONG De-yi MEI Tao CHU Jia-ru |
| Abstract: | |
| Keywords: | |
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