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| YF-24WY微压传感器 | |
| 作者单位： | 上海云飞自动化设备有限公司 |
| 摘 要： | YF-24WY微压传感器是以集成电路工艺和微机械加工技术制作而成的扩散硅固态压力传感器。传感器的管芯是由四个阻值组成的惠斯顿电桥的结构形式，其中两端加电源，两端输出压阻变化的电压信号。当受压面施加压力时，其中两个桥路电阻值增大，另外两个桥路电阻值减小，造成电桥的不平衡，从而在输出端产生与压力成线性关系的电信号。 |
| 关 键 词： | 微压传感器 微机械加工技术 压力传感器 惠斯顿电桥 集成电路工艺 电阻值 电压信号 线性关系 |
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