|
|||||
|
|
| 锆铝吸气剂在拉制硅单晶使用的氩气的循环回收及精制中的应用 | |
| 作者姓名： | 范志成 |
| 作者单位： | 冶金工业部有色金属研究院 |
| 摘 要： | 目前在单晶硅制备中,国外多采用纯氩气氛拉晶工艺(或在氩中掺1—5％的微量氢气)。氩气性能的稳定,不仅可以将炉中结晶潜热及时排出,造成炉内合理的温度梯度分布,有利于优质晶体的生长,而且也避免了用氢气拉晶所产生的氢脆及引入其他缺陷。 然而,电子工业需用的氩气要求纯度高,(>99.999％)并且消耗量大(20—22米~3 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |