| 基于γ-Al_2O_3膜微加工煤油传感器研究 |
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| 引用本文： | 张洪泉,乔英杰,范茂军.基于γ-Al_2O_3膜微加工煤油传感器研究[J].传感器与微系统,2012,31(3):43-45,49. |
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| 作者姓名： | 张洪泉 乔英杰 范茂军 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院,黑龙江哈尔滨150001;中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150001
2. 哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院,黑龙江哈尔滨,150001
3. 中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨,150001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(NSFC—60971020);国家“863”计划资助项目(2006AA040101);黑龙江省博士后科研启动基金资助项目(LBH—Z09219) |
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| 摘 要： | 基于半导体式气体传感原理,提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3膜加工成微热板结构载体,采用平面薄膜工艺制做Pt薄膜加热电阻和信号电极。在微热板的2个电极上,涂敷γ-Fe2O3-SnO2-Pt-Pd形成煤油蒸气敏感单元,实现在微结构体上气体检测的二单元集成。传感器采用脉冲工作方式,工作周期为30 s,在加热峰值形成高温400℃的煤油检测条件。测试结果表明:煤油(标志物:癸烷)检测可实现体积分数(0～7000)×10-6范围,90%的吸附响应时间小于8s,脱附响应时间小于12s,传感器信号输出与煤油体积分数有对应的全对数线性关系。
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| 关 键 词： | 气体传感器 煤油 微加工 微结构体 脉冲加热 |
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