| 硅谐振式加速度计(SOA)的技术及发展 |
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| 引用本文： | 姚保寅,冯丽爽,周震,迟媛媛.硅谐振式加速度计(SOA)的技术及发展[J].Canadian Metallurgical Quarterly,2011,10(1). |
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| 作者姓名： | 姚保寅 冯丽爽 周震 迟媛媛 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,微纳测控与低维物理教育部重点实验室,北京,100191 |
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| 摘 要： | 硅谐振式加速度计(SOA)精度高,稳定性好,数字输出,且体积小,成本低,易于集成,是新一代的微小型加速度计,具有极佳的应用前景.介绍了SOA的结构原理和发展概况,从谐振器,微杠杆,加工工艺,改变刚度方式,激励和检测方式等几方面对SOA的关键技术进行了综述.分析了SOA的机械耦合,加工工艺误差,梁弯曲刚度非线性等三大技术难点,并提出解决方案.最后对SOA的发展趋势进行了展望.
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| 关 键 词： | 微加速度计 硅谐振式加速度计 谐振器 微杠杆 |
Technologies and Development of Silicon Oscillating Accelerometer(SOA) |
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| Yao Baoyin,Feng Lishuang,Zhou Zhen,Chi Yuanyuan.Technologies and Development of Silicon Oscillating Accelerometer(SOA)[J].Canadian Metallurgical Quarterly,2011,10(1). |
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| Authors: | Yao Baoyin Feng Lishuang Zhou Zhen Chi Yuanyuan |
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