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| 电子化学品产业技术重点确定 | |
| 引用本文： | 李文.电子化学品产业技术重点确定[J].精细与专用化学品,1998(16). |
| 作者姓名： | 李文 |
| 摘 要： | 据了解,今后我国电子化学品技术开发的总体目标和重点任务是:开展工艺技术放大研究,以中试技术为基础解决0.8～1.2μm技术用电子化学品工业化生产过程中的关键技术,实现规模生产,满足国内电子工业需要;同时为适应国内超大规模集成电路发展的需要,完成0.35～0.5μm技术用电子化学品的关键技 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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