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| 高品质因数薄膜体声波谐振器的仿真与制备 | |
| 引用本文： | 赵利帅,衣新燕,欧阳佩东,张铁林,刘红斌,李国强.高品质因数薄膜体声波谐振器的仿真与制备[J].压电与声光,2023,45(1):18-20. |
| 作者姓名： | 赵利帅 衣新燕 欧阳佩东 张铁林 刘红斌 李国强 |
| 作者单位： | 华南理工大学 发光材料与器件国家重点实验室,广东 广州 510640;华南理工大学 发光材料与器件国家重点实验室,广东 广州 510640 ；广州市艾佛光通科技有限公司,广东 广州 510700 |
| 基金项目： | 广东省重点领域研发计划项目 (No. 2019B010129001) |
| 摘 要： | 该文研究了双层反射结构对薄膜体声波谐振器性能的影响。采用有限元方法建立了以氮化硅为支撑层,氮化铝为压电层,钼为电极的器件模型。首先探究反射层的宽度对输入阻抗的影响,为了进一步验证仿真结果,制备了空腔型薄膜体声波谐振器。研究结果表明,当反射层的宽度为0.5 μm时,器件的品质因数将得到极大增强。 |
| 关 键 词： | 薄膜体声波谐振器 反射层 输入阻抗 AlN 有限元 |
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