| 基于LSTM神经网络的压电执行器位移迟滞建模 |
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| 引用本文： | 时梦想,胡泓,吴浩,徐希潇.基于LSTM神经网络的压电执行器位移迟滞建模[J].压电与声光,2023,45(2):231-238. |
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| 作者姓名： | 时梦想 胡泓 吴浩 徐希潇 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学(深圳)机电工程与自动化学院,广东 深圳 518000;深圳市西渥智控科技有限公司,广东 深圳 518000 |
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| 基金项目： | 深圳市科技计划项目技术攻关重点资助项目(JSGG20201201100410029,JSGG20201201100401004) |
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| 摘 要： | 该文搭建迟滞测量实验平台，测量一种用于LED晶圆检测压电执行器的迟滞效应，设计了一种基于长短期记忆(LSTM)神经网络的压电迟滞模型，使用时间序列预测法对压电执行器位移迟滞效应建模。将该模型与传统的Prandtl-Ishlinskii(PI)模型进行对比。实验结果表明，神经网络模型具有较好、较广泛的迟滞建模效果，对于正弦波，位移预测精度保证小于2%;对于衰减正弦波，位移预测精度可保证小于3%。较高的模型预测精度为使用压电执行器进行LED晶圆检测提供了依据。
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| 关 键 词： | 压电执行器 迟滞非线性 长短期记忆(LSTM)神经网络 |
| 收稿时间： | 2022/10/25 0:00:00 |
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