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智能刚度测量仪
引用本文:郭志友.智能刚度测量仪[J].中国仪器仪表,2002(1):25-28.
作者姓名:郭志友
作者单位:华南师范大学MOCVD实验室,广州,510631
摘    要:本文介绍了高精度光栅位移传感器,经过对光栅输出的电信号的电路和软件细分等处理后,智能光栅传感器的测量范围20mm,分辨率1μm、由位移传感器、压力传感器和测试台组成智能波纹管刚度测量仪系统。在测量系统中对由压力产生的位移误差以及压力的非线性误差进行误差补偿,提高测量精度一个数量级别,最后测量精度为2‰。刚度测量仪可以自动测量波纹管,测量时间10秒/件,最后由打印机直接打印出所测量刚度、压力、位移的数值。

关 键 词:光栅位移传感器  刚度  误差补偿  打印输出

Intelligent Rigidity Surveying Instruments
Abstract:
Keywords:
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