| 正从实验室走出的MEMS |
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| 引用本文： | PeterLaitenberger. 正从实验室走出的MEMS[J]. 今日电子, 2003, 0(6): 38-39 |
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| 作者姓名： | PeterLaitenberger |
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| 作者单位： | GenericsGroup公司 |
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| 摘 要： | 微机电系统(MEMS : MicroElectro-Mechanical System)是一种集成微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源等部件,实现感应和控制物理环境的芯片级设备。MEMS在经过25年的发展后,目前正在走出实验室,逐渐成为一个新兴的工业领域。MEMS的应用范围正在不断扩大,从汽车气囊到打印机、电信设备等,这个芯片级设备的出现,正在促使产品真正迈向低成本、高性能。虽然MEMS技术所具有的优点是无可置疑的,然而将这些先进的技术思想转换成新产品的开发进程却还是太慢了。其原因之一是设备本身的多样性和复杂性:对于MEMS的组装,…
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| 关 键 词： | MEMS 微机电系统 血内气体分析 微机械硅传感技术 微粒子生化分析 体育仪器 |
MEMS: moving beyond the laboratory |
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| Peter Laitenberger. MEMS: moving beyond the laboratory[J]. Electronic Products China, 2003, 0(6): 38-39 |
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| Authors: | Peter Laitenberger |
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| Keywords: | |
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