| MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺研究 |
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| 引用本文： | 高孝裕,周勇,雷冲,陈吉安,倪智平,毛海平,王志民.MEMS磁芯螺线管微电感的制作工艺研究[J].固体电子学研究与进展,2005,25(4):513-516. |
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| 作者姓名： | 高孝裕 周勇 雷冲 陈吉安 倪智平 毛海平 王志民 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030;上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展专项经费（2004AA302042）,国家自然科学基金项目（50275096）,上海市纳米专项（0215nm104、0352mm014） |
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| 摘 要： | 采用微机电系统(MEMS)技术制作了磁芯螺线管微电感,该技术包括UV-LIGA、干法刻蚀技术、抛光和电镀技术等。研制的微电感大小为1500μm×900μm×100μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比为5∶1。测试结果表明:在1～10MHz频率下,其电感量为0.408～0.326μH,Q值为1.6～4.2。
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| 关 键 词： | 微电感 电感量 品质因子 微机电系统 |
| 文章编号： | 1000-3819(2005)04-513-04 |
| 收稿时间： | 01 25 2005 12:00AM |
| 修稿时间： | 05 8 2005 12:00AM |
Study of Solenoid-type Microinductor with Magnetic Core Fabricated by MEMS Technique |
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| GAO Xiaoyu,ZHOU Yong,LEI Chong,CHEN Jian,NI Zhiping,MAO Haiping,WANG Zhimin.Study of Solenoid-type Microinductor with Magnetic Core Fabricated by MEMS Technique[J].Research & Progress of Solid State Electronics,2005,25(4):513-516. |
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| Authors: | GAO Xiaoyu ZHOU Yong LEI Chong CHEN Jian NI Zhiping MAO Haiping WANG Zhimin |
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| Abstract: | Solenoid-type microinductor with magnetic core has been realized using micro-electro-mechanical systems(MEMS) technique such as UV-LIGA,dry etching technique, fine polishing and electroplating technique. The dimension of the inductor is 1 500 μm×900 μm×100 μm,having 41turns, with coil width of 20 μm separated by 20 μm spaces and high aspect radio of 5∶1. The inductance and the Q-factor are 0.408～0.326 μH and about 1.6～4.2 at the frequency of 1～10 MHz,respectively. |
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| Keywords: | microinductor inductance value quality factor micro-electro-mechanical systems(MEMS) |
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