鉴定HgCdTe晶体和光电二极管特性的电子束感生电流法

在扫描电子显微镜上采用电子束感生电流法鉴定了HgCdTe光伏探测器的晶体缺陷和表面状态。这种非破坏性方法也可使用于其他半导体传感器,并发现它适用于检验室温和低温器件的有效受光面积。探测器材料缺陷和表面处理不当所造成的痕迹,在小达0.05微米时仍可清楚地观测到。器件是在加增透膜前后检验的。该介质膜附着不良和针孔等缺陷亦可用本方法加以检测。本法可鉴定制造器件时所引起的损伤。这种感生信号的成象特性鉴定与扫描电子显微镜的二次电子成象表面鉴定及x射线形貌表面鉴定作了比较。