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| 离子注入提高金属表面硬度的研究 | |
| 引用本文： | 李铁藩,王继荫,单国友,屈保春,罗应氏.离子注入提高金属表面硬度的研究[J].机械工程材料,1985(5). |
| 作者姓名： | 李铁藩 王继荫 单国友 屈保春 罗应氏 |
| 作者单位： | 中国科学院金属研究所 (李铁藩，王继荫，单国友)，电子工业部1448所 (屈保春)，电子工业部1448所(罗应氏) |
| 摘 要： | 本文应用“20～420keV离子注入机”对铁,镍,18Cr-8Ni不锈钢进行了硼离子能量为100keV,剂量分别为4×10~(15)离子/cm~2及1×10~(16)离子/cm~2的注入试验。对铍进行硼离子能量为80keV及剂量为2×10~(17)离子/cm~2的注入,并经620℃一小时的真空退火处理。通过离子探针(IMS)分析,证明硼在这些金属中的纵向浓度,近似的呈高斯分布。经显微硬度的测量,Fe、Ni、18Cr-8Ni经注入B~ 后,金属的表面显微硬度伍都得到不同程度的提高。特别是金属铍注硼后,再经过真空退火,其表面硬度从HV300kg/mm~2提高到HV≥2318kg/mm~2。 |
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