| 大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究 |
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| 引用本文： | 王立松,苏宝库,董申,张晶.大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究[J].机械设计与制造,2001,39(4):71-72. |
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| 作者姓名： | 王立松 苏宝库 董申 张晶 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学 |
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| 摘 要： | 研究了具有宏微两级驱动双定位工作台的控制技术，该工作台采用直线电机进行大位移驱动，来保证较大的工作行程和较快的响应速度，而采用电致伸缩微位移器完成精密位置驱动，利用单频激光干涉仪实现闭环位置反馈，将该系统应用于实际中，可以实现500mm的工作地程内小于0 .02μm的重复定位精度。
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| 关 键 词： | 直线电机 电致伸缩微位移器 单频激光干涉仪 超精密定位 |
| 文章编号： | 1001-3997(2001)04-0071-02 |
| 修稿时间： | 2000年12月20 |
The research or the large travel and high precision two-level table |
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| WANC Li-song,SU Bao-ku,DONG Shen,ZHANG Jing.The research or the large travel and high precision two-level table[J].Machinery Design & Manufacture,2001,39(4):71-72. |
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| Authors: | WANC Li-song SU Bao-ku DONG Shen ZHANG Jing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Linear motor Piezoelectric actuator Single frequency laser interferometer |
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