| 微机电系统光学组件的系统级建模 |
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| 引用本文： | 李晓莹,李慧敏,常洪龙,何洋,焦文龙. 微机电系统光学组件的系统级建模[J]. 光学精密工程, 2012, 20(5): 1069-1075 |
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| 作者姓名： | 李晓莹 李慧敏 常洪龙 何洋 焦文龙 |
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| 作者单位： | 西北工业大学陕西省微/纳米系统重点实验室,陕西西安,710072 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划(MEMS重大专项)资助项目 |
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| 摘 要： | 为提高微机电系统(MEMS)中光学系统整体仿真的准确性和效率,解决光学组件系统级建模存在的问题,提出了一种光学组件系统级建模方法,该方法可同时支持与MEMS系统级机械组件和电路组件共同仿真.首先,介绍了多端口组件网络方法、高斯光束特点和空间坐标系变换理论.接着,以微平面镜为例,介绍了光学组件系统级建模方法的流程.最后,采用Verilog-A硬件描述语言建立了包含多个典型光学组件的系统级光学库.使用该库的光学组件在MEMS集成设计工具MEMSGarden中搭建微扫描系统进行了仿真与测试.与商业软件CoventorWare的分析结果相比,提出的建模方法解决了扫描盲区问题,且非差分电压分析的误差小于3％.结果显示,本文提出的建模方法精确有效,对MEMS的系统级设计有参考价值.
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| 关 键 词： | 微机电系统(MEMS) 光学组件 建模 Verilog-A硬件描述语言 |
| 收稿时间： | 2011-12-27 |
System-level modeling for MEMS optical components |
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| LI Xiao-ying , LI Hui-min , CHANG Hong-long , HE Yang , JIAO Wen-long. System-level modeling for MEMS optical components[J]. Optics and Precision Engineering, 2012, 20(5): 1069-1075 |
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| Authors: | LI Xiao-ying LI Hui-min CHANG Hong-long HE Yang JIAO Wen-long |
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| Affiliation: | (Laboratory of Micro and Nano Electromechanical Systems, Northwestern Polytechnical University,Xi′an 710072,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Micro-electro-mechanical Systems(MEMS) optical component modeling Verilog-A |
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