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提高P-MOS数控电路成品率的体会
作者单位:北京西城半导体器件厂六车间
摘    要:我厂生产的P-MOS数控电路是在清华大学十五个品种的基础上发展起来的。三年来,成品率有了一定的提高。在一套设备一套生产线的情况下,1977年产量达到35万块的水平。目前,从整个生产线一段时期的平均成品率来看4×2与非门MOS-Q(驱动管40:1,负载管3:2)管芯合格率在50%以上,较好的批次达到60~65%,寄存器MOS-J(4闩锁触发器)1977年下半年平均总成品率达到29%。中规模二—十进制计数器MMJ-4(130余个元件)平均管芯合格率高于25%,较好的批次达30~50%,比建线初期提高一倍左右。我们的中测除功能测试外,还测了输入端漏电流,成品100%的进行高温电老化筛选,管芯总数的计算是用平均有效硅片面积(767毫米~2)除以总片实际尺寸。例MOS-Q总片为1.33毫米×1.28毫米每片400管芯,合格管芯在200~300个之间二—十进制计数器MMJ-4芯片尺寸为1.74毫米×1.62毫米平均每片240管芯,一般出合格管芯50~100个。最好的批次达150个。

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