| 有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究 |
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| 引用本文： | 骆杨,李天骄,段羽.有机电致发光器件的新型薄膜封装技术研究[J].光电子．激光,2014(5):840-844. |
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| 作者姓名： | 骆杨 李天骄 段羽 |
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| 作者单位： | 吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012;吉林大学 汽车工程学院,吉林 长春 130022;吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012 |
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| 基金项目： | 国家高科技研究发展计划(2011AA03A110)、国家重点基础研究发展计划(2010CB327701)、国家自然科学基金(61275024,2,60706018,1,60977024,2,60907013)、吉林省科技发展计划(201101034)和教育部高等学校博士学科点专项科研基金(20070183088)资助项目 (1.吉林大学 电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林 长春 130012； 2.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林 长春 130033； 3.吉林大学 汽车工程学院,吉林 长春 130022) |
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| 摘 要： | 针对有机电致发光器件(OLED)在空气中水汽和O2作用下寿命下降的问题,提出一种对OLED进行薄膜封装方法。封装薄膜由电子束蒸镀Al2O3薄膜和原子层沉积(ALD,atomic layer deposition)Al2O3薄膜相结合形成。利用Ca薄膜电学测试方法测定封装薄膜的水汽透过率(WVTR)。具体实现方法是,采用玻璃作为衬底,在100nm的Al电极上蒸镀200nm的Ca膜,然后对整个系统进行薄膜封装,只留出Al电极的一部分作为探针接触电极。实验发现,采用电子束蒸镀结合ALD的Al2O3薄膜封装,Ca薄膜变成透明的时间比未封装或采用单一结构封装得到了延长。为了检验薄膜封装效果,制作了一组绿光OLED,器件结构为ITO/MoOX(5nm)/mMTDATA(20nm)/NPB(30nm)/Alq3(50nm)/LiF(1nm)/Al,实验结果表明,本文提出的薄膜封装方法对器件进行封装,器件的寿命得到了延长。
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| 关 键 词： | 薄膜封装 水汽透过率(WVTR) 原子层沉积(ALD) |
| 收稿时间： | 2013/10/31 0:00:00 |
A new thin-film encapsulation technology for organic light-emitting devices |
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| LUO Yang,LI Tian-jiao and DUAN Yu.A new thin-film encapsulation technology for organic light-emitting devices[J].Journal of Optoelectronics·laser,2014(5):840-844. |
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| Authors: | LUO Yang LI Tian-jiao and DUAN Yu |
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| Affiliation: | State Key Laboratory on Integrated Optoelec tronics,College of Electronic Science and Engineering, Jilin University,Changchun 130012,China;College of Automotive Engineering,Cha ngchun University,Changchun 130022,China;State Key Laboratory on Integrated Optoelec tronics,College of Electronic Science and Engineering, Jilin University,Changchun 130012,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | thin-film encapsulation water vapor transmission rate (WVTR) atomic layer deposition (ALD) |
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