| 声表面波质量传感器 |
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| 引用本文： | 章安良,朱大中.声表面波质量传感器[J].传感器与微系统,2005,24(1):60-62,66. |
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| 作者姓名： | 章安良 朱大中 |
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| 作者单位： | 1. 宁波大学,信息科学与工程学院,浙江,宁波,315211
2. 浙江大学,信息科学与电子工程系,浙江,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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浙江省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 在128°Y切割X传播方向上的LiNbO3基片上设计并研制了新型声表面波(SAW)质量传感器.它将输入叉指换能器激发的SAW中心对称分成两路并由各自的输出叉指换能器检测输出.由于环境温度对SAW延迟线振荡器的振荡频率影响较大,传感器的输出不仅决定于质量沉积区所沉积的质量,还决定于测量时所处的环境温度.为此,在SAW质量传感器测量时,同时监测传感器的输入信息质量沉积区的质量和环境温度及其输出频率信息,采用多传感器信息融合技术进行融合处理,质量传感器的温度灵敏度分别从α s0.2=0.8007/℃,α s0.6=0.2488/℃提高到α' s0.2=1.71×10-2/℃,α‘ s0.6=3.28×10-3/℃.
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| 关 键 词： | 声表面波 延迟线振荡器 信息融合 交叉灵敏度 表面波质量传感器 sensor mass surface wave 温度灵敏度 融合处理 多传感器信息融合技术 频率信息 温度及 环境温度 信息质量 同时监测 测量 沉积区 频率影响 延迟线振荡器 换能器检测 输出 中心对称 激发 |
| 文章编号： | 1000-9787(2005)01-0060-03 |
Acoustic surface wave mass sensor |
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| ZHANG An-liang,ZHU Da-zhong.Acoustic surface wave mass sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2005,24(1):60-62,66. |
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| Authors: | ZHANG An-liang ZHU Da-zhong |
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| Affiliation: | ZHANG An-liang~1,ZHU Da-zhong~2 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | SAW(acoustic surface wave) delay line oscillator information fusion cross sensitivity |
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