| 等离子辅助电子束蒸发La2O3薄膜的制备 |
| |
| 引用本文： | 杨陈,樊慧庆,焦岗成,惠迎雪.等离子辅助电子束蒸发La2O3薄膜的制备[J].稀有金属材料与工程,2007,36(Z1). |
| |
| 作者姓名： | 杨陈 樊慧庆 焦岗成 惠迎雪 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;高等学校博士学科点专项科研项目;教育部新世纪人才基金;陕西省西安市科技攻关项目 |
| |
| 摘 要： | 采用等离子辅助电子束蒸发,在Si(100)衬底上沉积La2O3薄膜.随后对非晶的沉积态薄膜在750℃和900℃分别退火1 h.实验结果表明,采用等离子辅助电子束蒸发,可以获得非晶态的La2O3薄膜;经750℃热处理后,薄膜部分晶化;经900℃热处理后,薄膜显著晶化,晶粒尺寸明显增大,并沿(002)方向择优取向.对薄膜I-V特性的测量结果表明,沉积态薄膜具有较小的漏电流,但随着热处理温度升高,薄膜晶化程度提高,薄膜漏电流逐渐增大;对薄膜透过率的测量结果表明,单面抛光的Si衬底上沉积La2O3薄膜,在近红外范围内有明显的增透效果,最大可达20%左右.
|
| 关 键 词： | La2O3薄膜 等离子辅助电子束蒸发 薄膜结构 I-V特性 透过率 |
Preparation of La2O3 Films by Ion Beam Assistant E-Beam Evaporation |
| |
| Yang Chen,Fan Huiqing,Jiao Gangcheng,Hui Yingxue.Preparation of La2O3 Films by Ion Beam Assistant E-Beam Evaporation[J].Rare Metal Materials and Engineering,2007,36(Z1). |
| |
| Authors: | Yang Chen Fan Huiqing Jiao Gangcheng Hui Yingxue |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | |
| 本文献已被 万方数据 等数据库收录！ |
|
